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ESC 静电吸盘吸附大翘曲晶圆三维瞬态仿真1. 适用范围直流电压施加到 ESC 电极后，通过静电压力拉动伞状翘曲晶圆，观察晶圆从弯曲趋近平整的过程。三维实体结构瞬态求解 + 解析初始伞状间隙 + 接触