ESC静电卡盘加热和冷却热仿真方法

奔向地球的猪 2025年08月27日 查看原文

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1.创建模型 一般静电卡盘为三明治结构,从上到下分别为TOP层、粘胶层、加热丝层、BOTTOM层 2.设置同通用设置25℃环温 3.分别设置各层材质,这里我都是默认,一般为陶瓷静电卡盘,按需设置即可