良率又掉了一格?先别拆主机,按这篇干货反查三处

Tom聊芯片智造 2026年09月07日 查看原文

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有一个真实的客户案例:产线连续三天良率偏低,工程师把主机、Recipe、阀门轮番查了个遍,结论全是正常。第四天有人随手翻维护台账,发现真空泵密封套件的服役周期早超了——轴封在渗油,返油已经在污染腔体。