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Resolution 分辨率、LER 线边缘粗糙度、Sensitivity 灵敏度三角矛盾详见上期文章：光刻胶灵敏度、分辨率、LER三角矛盾是什么？那怎么找到一个更优的方案呢？1. 金属氧化物光刻胶（