紫外激光打孔的优点与缺点?

Tom聊芯片智造 2026年09月29日 查看原文

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一、优点1. 加工精度高、能做小孔激光能聚焦到的最小光斑尺寸和波长成正比,波长越短、光斑越小。紫外激光(如 355nm,或更短的准分子 248nm、193nm)波长短,能聚焦成极小的光斑,因此可以加工